人工晶体学报2013，Vol.42Issue(10)：2080-2086,7.
溅射功率对ZnO∶Si透明导电薄膜性能的影响
Effect of Sputtering Power on the Properties of Si Doped ZnO Transparent Conductive Films
摘要
关键词
直流磁控溅射/ZnO∶Si薄膜/光电特性Key words
direct current magnetron sputtering/ ZnO∶Si film/ photoelectric property分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冯祝,万云芳..溅射功率对ZnO∶Si透明导电薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2013,42(10):2080-2086,7.
