金刚石与磨料磨具工程2013,Vol.33Issue(5):22-26,5.
大面积自支撑金刚石膜的机械研磨研究
Study on mechanical grinding for large area free-standing diamond film
摘要
关键词
大面积金刚石自支撑膜/机械研磨/应力诱导/局部石墨化Key words
large area free-standing diamond film/mechanical grinding/stress-induced/local graphitization分类
矿业与冶金引用本文复制引用
文星凯,魏俊俊,刘金龙,陈良贤,黑立富,李成明..大面积自支撑金刚石膜的机械研磨研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2013,33(5):22-26,5.基金项目
国家自然科学基金(51272042) (51272042)
教育部博士点基金(2011000110011). (2011000110011)