强激光与粒子束2013，Vol.25Issue(11)：2900-2904,5.DOI:10.3788/HPLPB20132511.2900
双尺度织构的激光光刻工艺
Fabrication of two-scale texture by laser lithography
摘要
关键词
双光束干涉/双尺度/表面织构/激光光刻Key words
two-beams interference/two-scale texture/surface texture/laser lithography分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
贺海东,郝敬宾,赵恩兰,杨海峰,唐玮,朱华,钱济国..双尺度织构的激光光刻工艺[J].强激光与粒子束,2013,25(11):2900-2904,5.基金项目
国家自然科学基金项目(51105360,51205394) （51105360,51205394）
江苏省自然科学基金项目(BK2011218) （BK2011218）
中国博士后科学基金项目(2012T50522) （2012T50522）
中国博士后项目(2011M500966) （2011M500966）
江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金项目(GZ200905) （GZ200905）
清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项目(SKLTKF10B06) （SKLTKF10B06）
