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0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性

赵家敏游利兵余吟山方晓东

强激光与粒子束2013，Vol.25Issue(11)：3060-3064,5.

强激光与粒子束2013，Vol.25Issue(11)：3060-3064,5.DOI:10.3788/HPLPB20132511.3060

Characteristics of KrF excimer laser with an output energy of 0.73 J

赵家敏 ¹游利兵 ¹余吟山 ¹方晓东¹

作者信息

准分子激光器/激光退火/大能量/磁脉冲压缩

excimer laser/excimer laser annealing/large energy/magnetic pulse compression

信息技术与安全科学

赵家敏,游利兵,余吟山,方晓东..0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性[J].强激光与粒子束,2013,25(11):3060-3064,5.

国家自然科学基金项目(61205138) （61205138）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1001-4322

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