人工晶体学报2013，Vol.42Issue(11)：2258-2264,7.
固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究
Study on the Lapping Process of Sapphire Substrate through Fixed Abrasive
摘要
关键词
固结磨料/研磨/蓝宝石衬底/材料去除率/表面粗糙度Key words
fixed abrasive / lapping/ sapphire substrate / material removal rate/ surface roughness分类
机械制造引用本文复制引用
李鹏鹏,李军,王建彬,夏磊,朱永伟,左敦稳..固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究[J].人工晶体学报,2013,42(11):2258-2264,7.基金项目
国家自然科学基金(51175260,50905086) （51175260,50905086）
中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506,NS2013055) （NP2012506,NS2013055）
江苏省高校优势学科建设工程助项目 （）
