人工晶体学报2013，Vol.42Issue(11)：2396-2400,5.
超薄全局应变硅薄膜的应变弛豫研究
Study on Strain Relaxation in Ultrathin Global-strained Si Thin Films
摘要
关键词
全局应变硅/纳米图形/应变弛豫/拉曼光谱Key words
global-strained Si/ nano-pattern/ strain relaxation/ Raman spectroscopy分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘旭焱,崔明月,海涛,王爱华,蒋华龙..超薄全局应变硅薄膜的应变弛豫研究[J].人工晶体学报,2013,42(11):2396-2400,5.基金项目
国家自然科学基金(61306007) （61306007）
河南省科技攻关重点项目(132102210048) （132102210048）
南阳师范学院专项项目(ZX2012017) （ZX2012017）
