武汉工程大学学报2013，Vol.35Issue(11)：53-58,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-2869.2013.11.012
星形微波等离子体化学气相沉积装置上类金刚石薄膜的制备
Diamond-like carbon films deposited on star-shape microwave plasma enhanced chemical vapor deposition equipment
摘要
关键词
类金刚石薄膜/石英玻璃/红外透光率Key words
diamond-like carbon film/quartz glass/infrared transmittance分类
化学化工引用本文复制引用
熊礼威,崔晓慧,汪建华,翁俊,龚国华,张林..星形微波等离子体化学气相沉积装置上类金刚石薄膜的制备[J].武汉工程大学学报,2013,35(11):53-58,6.基金项目
国家自然科学基金项目(No.11175137) （No.11175137）
湖北省教育厅科学技术研究项目(No.Q20121501) （No.Q20121501）
武汉工程大学科学研究基金(No.11111051) （No.11111051）
