光学精密工程2013，Vol.21Issue(12)：3058-3065,8.DOI:10.3788/OPE.20132112.3058
硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元
Flow-induced-vibration MEMS energy harvesting unit based on AlN film in silicon
摘要
关键词
风致振动/MEMS能量采集/硅基氮化铝薄膜/衍射强度/摇摆曲线Key words
flow-induced-vibration/MEMS energy harvesting/AlN film in silicon/diffraction intensity/rocking curve分类
能源科技引用本文复制引用
尚正国,李东玲,温志渝,赵兴强..硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元[J].光学精密工程,2013,21(12):3058-3065,8.基金项目
十二五中期微电子预研资助项目(No.5130805214) （No.5130805214）
