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硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿

曹慧亮 李宏生 王寿荣 杨波 黄丽斌

光学精密工程2013,Vol.21Issue(12):3118-3125,8.
光学精密工程2013,Vol.21Issue(12):3118-3125,8.DOI:10.3788/OPE.20132112.3118

硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿

Temperature compensation of monitoring circuit for silicon MEMS gyroscope

曹慧亮 1李宏生 1王寿荣 1杨波 1黄丽斌1

作者信息

  • 1. 东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室,江苏南京210096
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摘要

关键词

硅微机械陀螺仪/测温电路/温度补偿/标度因数/零偏/热敏电阻

Key words

Silicon Micro-electronic-mechanical System (MEMS) gyroscope/monitoring temperature circuit/temperature compensation/scale factor/bias/thermal resistant

分类

交通工程

引用本文复制引用

曹慧亮,李宏生,王寿荣,杨波,黄丽斌..硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿[J].光学精密工程,2013,21(12):3118-3125,8.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.60974116,No.61101021,No.61104217) (No.60974116,No.61101021,No.61104217)

江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2010401) (No.BK2010401)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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