光学精密工程2013，Vol.21Issue(12)：3152-3159,8.DOI:10.3788/OPE.20132112.3152
自增强承压圆筒结构的超高压力传感器
Ultra-high pressure sensor with autofrettaged cylinder structure
摘要
关键词
超高压力传感器/自增强技术/压阻效应/微机电系统/圆筒结构Key words
ultra-high pressure sensor/autofrettage technology/piezoresistive effect/Micro-electronic-mechanic System(MEMS)/cylinder structure分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭鑫,热合曼·艾比布力,王鸿雁,赵立波,蒋庄德..自增强承压圆筒结构的超高压力传感器[J].光学精密工程,2013,21(12):3152-3159,8.基金项目
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