北京信息科技大学学报（自然科学版）2013，Vol.28Issue(6)：59-62,4.
气流式微机械倾角敏感元件的建模及流场分析
Modeling and flow field analysis for MEMS tilt angle sensor
摘要
关键词
微机电系统/三维建模/Boussinesq假设分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
林建华,朴林华,张福学..气流式微机械倾角敏感元件的建模及流场分析[J].北京信息科技大学学报（自然科学版）,2013,28(6):59-62,4.基金项目
北京市自然科学基金会资助项目(4112020) （4112020）
北京市传感器重点实验室资助项目(KF20131077203) （KF20131077203）
(KF20131077205) （KF20131077205）
