人工晶体学报2013，Vol.42Issue(12)：2525-2531,7.
氢氦共同稀释对微晶硅锗薄膜结构特性的影响
Influence of Helium and Hydrogen Mixture Dilution on the Structural Properties of Microcrystalline Silicon-germanium Films
摘要
关键词
微晶硅锗薄膜/等离子体增强化学气相沉积/He稀释Key words
microcrystalline silicon-germanium film/ PECVD/ helium dilution分类
数理科学引用本文复制引用
李天微,张建军,曹宇,倪牮,黄振华,赵颖..氢氦共同稀释对微晶硅锗薄膜结构特性的影响[J].人工晶体学报,2013,42(12):2525-2531,7.基金项目
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天津市应用基础及前沿技术研究计划(12JCQNJC01000) （12JCQNJC01000）
中央高校基本科研业务费专项资金资助 （）
天津市重大科技支撑计划项目(11TXSYGX22100) （11TXSYGX22100）
