人工晶体学报2013，Vol.42Issue(12)：2686-2690,5.
基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究
Growth Process of Si Nanoparticles and Spatial Distribution of Si Ions Based on Langmuir Probe Diagnosis
摘要
关键词
纳米Si晶薄膜/脉冲激光烧蚀/空间分布/朗缪尔探针Key words
Si nano-crystal film / pulsed laser ablation / spatial distribution / Langmuir probe分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邓泽超,刘海燕,张晓龙,褚立志,丁学成,秦爱丽,王英龙..基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究[J].人工晶体学报,2013,42(12):2686-2690,5.基金项目
国家重点基础研究发展计划(973计划)前期专项基金(2011CB612305) （973计划）
河北省自然科学基金(E2011201134,E2012201035) （E2011201134,E2012201035）
河北省高等学校科学研究项目(Q2012084) （Q2012084）
