首页|期刊导航|金刚石与磨料磨具工程|固结磨料抛光中不同抛光液组分对铜的加工性能的影响

固结磨料抛光中不同抛光液组分对铜的加工性能的影响

王成朱永伟徐俊袁航

金刚石与磨料磨具工程2013，Vol.33Issue(6)：1-6,11,7.

Influence of polishing slurry composition on its machining performance by fixed abrasive pad

王成 ¹朱永伟 ¹徐俊 ¹袁航²

作者信息

铜/固结磨料抛光垫/材料去除速率/表面粗糙度

copper/fixed abrasive pad/material removal rate/surface roughness

矿业与冶金

王成,朱永伟,徐俊,袁航..固结磨料抛光中不同抛光液组分对铜的加工性能的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2013,33(6):1-6,11,7.

国家自然科学基金(5711260) （5711260）

中央高校基本科研业务费专项资金(NO.NP2012506). （NO.NP2012506）

OACSTPCD

ISSN：1006-852X

访问量1

下载量0

段落导航