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基于改进型多目标粒子群算法的晶圆制造系统瓶颈工作站调度

周炳海 胡新宇 孙超

江苏大学学报(自然科学版)2014,Vol.35Issue(1):63-68,6.
江苏大学学报(自然科学版)2014,Vol.35Issue(1):63-68,6.DOI:10.3969/j.issn.1671-7775.2014.01.012

基于改进型多目标粒子群算法的晶圆制造系统瓶颈工作站调度

Scheduling of bottleneck workstation in wafer fabrication systems based on improved multi-objective particle swarm optimization algorithm

周炳海 1胡新宇 1孙超1

作者信息

  • 1. 同济大学机械与能源工程学院,上海201804
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摘要

关键词

半导体晶圆制造系统/瓶颈/工作站/调度/改进型多目标粒子群算法

Key words

semiconductor wafer fabrication system/bottleneck/workstation/scheduling/improved multi-objective particle swarm optimization algorithm

分类

管理科学

引用本文复制引用

周炳海,胡新宇,孙超..基于改进型多目标粒子群算法的晶圆制造系统瓶颈工作站调度[J].江苏大学学报(自然科学版),2014,35(1):63-68,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(61273035,71071115) (61273035,71071115)

江苏大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

1671-7775

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