实验科学与技术2013，Vol.11Issue(6)：237-239,3.DOI:10.3969/j.issn.1672-4550.2013.06.074
ITO薄膜的制备、光刻及性能测试实验设计
Experimental Design of Preparation, Lithography and Measurement for ITO Thin-film
张磊 1刘文龙 1段宇星1
作者信息
- 1. 电子科技大学光电信息学院,成都610054
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摘要
关键词
ITO薄膜/刻蚀/方阻/透过率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张磊,刘文龙,段宇星..ITO薄膜的制备、光刻及性能测试实验设计[J].实验科学与技术,2013,11(6):237-239,3.
