高电压技术2014，Vol.40Issue(1)：206-211,6.DOI:10.13336/j.1003-6520.hve.2014.01.030
基于CFDRC的感应耦合等离子体离子数密度空间分布仿真
Simulation on the Spatial Distribution of ICP Ion Number Density Based on CFDRC
摘要
关键词
感应耦合等离子体/ICP/离子数密度/空间分布/CFD仿真/流体模型/CFDRCKey words
inductively coupled plasma/ICP/ion number density/spatial distribution/CFD simulation/flow module/CFDRC引用本文复制引用
赵文锋,杨洲,王卫星,吴伟斌,肖诺骏..基于CFDRC的感应耦合等离子体离子数密度空间分布仿真[J].高电压技术,2014,40(1):206-211,6.基金项目
广东省高等学校高层次人才项目(粤财教[2011]431号):广东省育苗工程项目(LYM11031).Project supported by Programs in Higher School High-level Talents in Guangdong Province,Guangdong Province Breeding Project (LYM11031). （粤财教[2011]431号）
