光学精密工程2014，Vol.22Issue(2)：338-345,8.DOI:10.3788/OPE.20142202.0338
柔性铰链微定位平台的设计
Design of micro-positioning stage with flexure hinge
摘要
关键词
微定位平台/桥式机构/平行板机构/柔性铰链/有限元分析/优化设计Key words
micro-positioning stage/bridge-type mechanism/parallel board mechanism/flexure hinge/Finite Element Analysis(FEA)/optimal design分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马立,谢炜,刘波,孙立宁..柔性铰链微定位平台的设计[J].光学精密工程,2014,22(2):338-345,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.50905105) （No.50905105）
上海市自然科学基金资助项目(No.13ZR1415800) （No.13ZR1415800）
上海市教育委员会科研创新资金资助项目(No.14YZ008) （No.14YZ008）
