光学精密工程2014，Vol.22Issue(2)：346-350,5.DOI:10.3788/OPE.20142202.0346
基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件
Flexible ZnO thin film SAW device on polyimide substrate
摘要
关键词
柔性衬底/ZnO薄膜/压电薄膜/声表面波器件Key words
flexible substrate/ZnO thin film/piezoelectric film/Surface Acoustic Wave(SAW) device分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
周剑,何兴理,金浩,王德苗,骆季奎..基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件[J].光学精密工程,2014,22(2):346-350,5.基金项目
浙江省教育厅资助项目(No.Y200805433) （No.Y200805433）
