机械制造与自动化2014，Vol.43Issue(1)：11-13,27,4.
偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析
Stability and Accuracy Analysis of Precision Motion Stage With Air Bearings Under Eccentric Driving Force
摘要
关键词
精密运动平台/偏心驱动/偏心率/建模/设计准则Key words
precision motion stage/eccentric driving force/eccentricity/modeling/design criterion分类
机械制造引用本文复制引用
左昊诚,姜伟,张鸣,王婧..偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析[J].机械制造与自动化,2014,43(1):11-13,27,4.基金项目
国家自然科学基金重点项目(51235005),国家重点基础研究发展计划(973计划,2009CB724205) （51235005）
