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CVD单晶金刚石的研究进展

吴超 马志斌 严垒 高攀

金刚石与磨料磨具工程2014,Vol.34Issue(1):57-63,7.
金刚石与磨料磨具工程2014,Vol.34Issue(1):57-63,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2014.1.0013

CVD单晶金刚石的研究进展

Development of CVD single crystal diamond

吴超 1马志斌 1严垒 1高攀1

作者信息

  • 1. 武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430073
  • 折叠

摘要

关键词

化学气相沉积/单晶金刚石/生长参数/研究成果

Key words

chemical vapor deposition (CVD) / single crystal diamond/ growth parameter/ achievement

分类

化学化工

引用本文复制引用

吴超,马志斌,严垒,高攀..CVD单晶金刚石的研究进展[J].金刚石与磨料磨具工程,2014,34(1):57-63,7.

基金项目

国家自然科学基金项目(10875093) (10875093)

金刚石与磨料磨具工程

OACSTPCD

1006-852X

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