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立方Y2O3薄膜结构、力学及光学性能的研究

王猛李成明朱瑞华刘金龙陈良贤魏俊俊黑立富

人工晶体学报2014，Vol.43Issue(1)：25-30,6.

Study on Structure, Mechanical and Optical Properties of Cubic Y2O3 Thin Films

王猛 ¹李成明 ¹朱瑞华 ¹刘金龙 ¹陈良贤 ¹魏俊俊 ¹黑立富¹

作者信息

Y2O3薄膜/射频磁控/缺陷

Y2O3 thin film/RF magnetron/defect

矿业与冶金

王猛,李成明,朱瑞华,刘金龙,陈良贤,魏俊俊,黑立富..立方Y2O3薄膜结构、力学及光学性能的研究[J].人工晶体学报,2014,43(1):25-30,6.

国家自然科学基金(51272042) （51272042）

教育部博士点基金(2011000110011) （2011000110011）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-985X

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