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离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜

陈强 张春渤 谢建生

常州大学学报(自然科学版)2014,Vol.26Issue(1):6-9,4.
常州大学学报(自然科学版)2014,Vol.26Issue(1):6-9,4.DOI:10.3969/j.issn.2095-0411.2014.01.002

离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜

Li Doped ZnO Thin Films Prepared by Ion-Beam Enhanced Deposition Method

陈强 1张春渤 1谢建生1

作者信息

  • 1. 常州大学数理学院,江苏常州213164
  • 折叠

摘要

关键词

Li掺杂/离子束增强沉积/退火

Key words

Li doped/Ion beam enhanced deposition/annealed

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈强,张春渤,谢建生..离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜[J].常州大学学报(自然科学版),2014,26(1):6-9,4.

常州大学学报(自然科学版)

2095-0411

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