人工晶体学报2014，Vol.43Issue(2)：280-284,5.
P型非晶硅薄膜制备及其在HIT太阳电池中应用
Fabrication of P-type a-Si∶H Thin Films and Its Application in HIT Solar Cells
齐晓光 1杨瑞霞 1雷青松 2薛俊明2
作者信息
- 1. 河北工业大学信息工程学院,天津300401
- 2. 河北汉盛光电科技有限公司,衡水053000
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摘要
关键词
RF-PECVD/非晶硅薄膜/硼烷浓度/加热温度/HIT太阳电池Key words
RF-PECVD/amorphous silicon thin film/borane concentration/heating temperature/HIT solar cell分类
数理科学引用本文复制引用
齐晓光,杨瑞霞,雷青松,薛俊明..P型非晶硅薄膜制备及其在HIT太阳电池中应用[J].人工晶体学报,2014,43(2):280-284,5.
