人工晶体学报2014，Vol.43Issue(2)：327-332,6.
有限元分析薄膜/基底在纳米压痕过程中的力学性能
Finite Element Analysis on the Mechanical Properties of the Film/Substrate System in the Process of Nanoindentation
摘要
关键词
有限元/薄膜/基底体系/残余深度/应力Key words
finite element/film/substrate system/residual depth/stress分类
数理科学引用本文复制引用
王晓宇,王金良,彭洪勇..有限元分析薄膜/基底在纳米压痕过程中的力学性能[J].人工晶体学报,2014,43(2):327-332,6.基金项目
国家自然科学基金(50772006) （50772006）
