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光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究

申远 王俊杰 竺长安 齐向东

湖南大学学报(自然科学版)2014,Vol.41Issue(3):43-48,6.
湖南大学学报(自然科学版)2014,Vol.41Issue(3):43-48,6.

光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究

Research on Opto-Mechatronics Integration Optimization Method of the Scatch System of the Grating Ruling Machine

申远 1王俊杰 2竺长安 2齐向东1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥 230027
  • 2. 合肥师范学院电子信息工程学院,安徽合肥 230601
  • 折叠

摘要

关键词

光栅刻划机/光机电集成优化/计算傅里叶光学/智能优化

Key words

grating ruling machine/opto-mechatronics integration optimization/computational Fourier optics/intelligent optimization

分类

机械制造

引用本文复制引用

申远,王俊杰,竺长安,齐向东..光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究[J].湖南大学学报(自然科学版),2014,41(3):43-48,6.

基金项目

“十一五”国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02) (2006BAK03A02)

国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1) (ZBYZ2008-1)

中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(WK2090090010) (WK2090090010)

安徽省自然科学基金资助项目(1308085QE92) (1308085QE92)

合肥师范学院人才基金资助项目(2013RCJJ04) (2013RCJJ04)

湖南大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-2974

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