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二维精密工作台离散点测量结果误差分离的新方法研究

郭天太王晓晓洪博赵军孔明高思田

计量学报2014，Vol.35Issue(2)：113-119,7.

计量学报2014，Vol.35Issue(2)：113-119,7.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2014.02.04

A New Error Separation Method for Measurement Results of Discrete Points of 2D Precision Stage

郭天太 ¹王晓晓 ¹洪博 ¹赵军 ¹孔明 ¹高思田²

作者信息

计量学/误差分离/二维精密工作台/系统误差/测量结果/标准不确定度

Metrology/Error separation/2D precision stage/System error/Measurement results/Uncertainty

通用工业技术

郭天太,王晓晓,洪博,赵军,孔明,高思田..二维精密工作台离散点测量结果误差分离的新方法研究[J].计量学报,2014,35(2):113-119,7.

国家自然科学基金(11172287) （11172287）

国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ03011208) （2011YQ03011208）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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