中国机械工程2014，Vol.25Issue(5)：596-601,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2014.05.006
基于MEMS机构装配的微夹持器研究
Study on Micro-gripper Based on MEMS Mechanism Assembly
摘要
关键词
微机电系统/微装配/微夹持器/压电陶瓷/柔性铰链/非线性回归Key words
micro-electro mechanical system (MEMS)/micro-assembly/micro-gripper/piezoe-lectric transducer(PZT)/flexible hinge/nonlinear regression分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郝永平,董福禄,张嘉易,包丽雅..基于MEMS机构装配的微夹持器研究[J].中国机械工程,2014,25(5):596-601,6.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z167) （863计划）
辽宁省自然科学基金资助项目(201102182) （201102182）
