硅酸盐学报2014，Vol.42Issue(1)：65-69,5.DOI:10.7521/j.issn.0454-5648.2014.01.12
锆钛酸铅厚膜驱动高机械品质因数微悬臂梁的制作与性能
Fabrication and Characterization of a High Q-Factor Microcantilever Enhanced by Lead Zirconate Titanate Thick Film
摘要
关键词
锆钛酸铅/微悬臂梁/机械品质因数/厚膜Key words
lead zirconate titanate/microcantilever/mechanical quality factor/thick film分类
化学化工引用本文复制引用
赵全亮,李中翔,何广平,曹茂盛,王大伟,狄杰建..锆钛酸铅厚膜驱动高机械品质因数微悬臂梁的制作与性能[J].硅酸盐学报,2014,42(1):65-69,5.基金项目
国家“863”项目(2007AA03Z103) （2007AA03Z103）
国家自然科学基金(51305005,51375016) （51305005,51375016）
北京市自然基金项目(3122013) （3122013）
北京市科技计划项目(KM201210009004). （KM201210009004）
