无机材料学报2014，Vol.29Issue(4)：345-351,7.DOI:10.3724/SP.J.1077.2014.13449
原子层沉积生长速率的控制研究进展
Research Progress on Growth Rate Controlling of Atomic Layer Deposition
摘要
关键词
原子层沉积/生长速率/生长机制/位阻效应Key words
atomic layer deposition/ growth rate/ growth mechanism/ steric hindrance分类
化学化工引用本文复制引用
卢维尔,董亚斌,李超波,夏洋,李楠..原子层沉积生长速率的控制研究进展[J].无机材料学报,2014,29(4):345-351,7.基金项目
中国科学院科研装备研制项目(Y3YZ028001) （Y3YZ028001）
Scientific Research and Equipment Development Project,Chinese Academy of Sciences (Y3YZ028001) （Y3YZ028001）
