人工晶体学报2014,Vol.43Issue(4):845-851,7.
钛掺杂对ZnO∶Ti透明导电薄膜性能的影响
Effect of Ti Doping on the Properties of ZnO∶Ti Transparent Conducting Thin Films
摘要
关键词
磁控溅射/ZnO∶Ti/透明导电薄膜Key words
magnetron sputtering/ ZnO∶Ti / transparent oxide thin film分类
数理科学引用本文复制引用
顾锦华,汪浩,兰椿,钟志有,孙奉娄,杨春勇,侯金..钛掺杂对ZnO∶Ti透明导电薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2014,43(4):845-851,7.基金项目
国家自然科学基金(61002013,11147014) (61002013,11147014)
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