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钛掺杂对ZnO∶Ti透明导电薄膜性能的影响

顾锦华 汪浩 兰椿 钟志有 孙奉娄 杨春勇 侯金

人工晶体学报2014,Vol.43Issue(4):845-851,7.
人工晶体学报2014,Vol.43Issue(4):845-851,7.

钛掺杂对ZnO∶Ti透明导电薄膜性能的影响

Effect of Ti Doping on the Properties of ZnO∶Ti Transparent Conducting Thin Films

顾锦华 1汪浩 2兰椿 2钟志有 2孙奉娄 3杨春勇 3侯金2

作者信息

  • 1. 中南民族大学计算与实验中心,武汉430074
  • 2. 中南民族大学电子信息工程学院,武汉430074
  • 3. 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室,武汉430074
  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射/ZnO∶Ti/透明导电薄膜

Key words

magnetron sputtering/ ZnO∶Ti / transparent oxide thin film

分类

数理科学

引用本文复制引用

顾锦华,汪浩,兰椿,钟志有,孙奉娄,杨春勇,侯金..钛掺杂对ZnO∶Ti透明导电薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2014,43(4):845-851,7.

基金项目

国家自然科学基金(61002013,11147014) (61002013,11147014)

湖北省自然科学基金(2013CFA052,2011CDB418) (2013CFA052,2011CDB418)

中南民族大学学术团队基金(XTZ09003) (XTZ09003)

中南民族大学研究生创新基金(chxxyz120023) (chxxyz120023)

中央高校基本科研业务费专项资金(CZW2014019) (CZW2014019)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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