人工晶体学报2014,Vol.43Issue(4):903-911,9.
不同驱动力对Cz硅生长中熔体对流影响的数值模拟研究
Numerical Simulation Study on Effect of Different Driving Force on Melt Convection in Cz-Si Growth Process
摘要
关键词
晶体生长/Cz硅/数值模拟/熔体对流/固/液界面Key words
crystal growth / Cz-Si / numerical simulation/ melt convection / crystal/melt interface分类
数理科学引用本文复制引用
苏文佳,左然,狄晨莹,程晓农..不同驱动力对Cz硅生长中熔体对流影响的数值模拟研究[J].人工晶体学报,2014,43(4):903-911,9.基金项目
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