测控技术2014，Vol.33Issue(5)：31-34,4.
基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统
A Heterodyne Interferometric Nanometric Displacement Measurement System Based on LabVIEW
摘要
关键词
激光外差干涉仪/纳米位移测量/LabVIEWKey words
laser heterodyne interferometer/nanometric displacement measurement/LabVIEW分类
机械制造引用本文复制引用
何京徽,许素安,谢敏,袁铭权,钱飞,陈乐,孙坚..基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统[J].测控技术,2014,33(5):31-34,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51105348) （51105348）
第45批教育部留学回国启动基金项目 （）
浙江省钱江人才计划项目(2013R1066) （2013R1066）
