红外与毫米波学报2014,Vol.33Issue(2):149-153,5.DOI:10.3724/SP.J.1010.2014.00149
不同方法及衬底类型对CdS多晶薄膜性能的影响
Effect of different substrates on the properties of CdS thin film deposited by different technique
摘要
关键词
CdS薄膜/磁控溅射/化学水浴/TCOKey words
CdS thin film/magnetron sputtering/chemical bath deposition/TCO分类
数理科学引用本文复制引用
丛家铭,潘永强,邬云华,张传军,王善力..不同方法及衬底类型对CdS多晶薄膜性能的影响[J].红外与毫米波学报,2014,33(2):149-153,5.基金项目
中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX2-YW-384) (KGCX2-YW-384)
上海市2012年度“科技创新行动计划”节能减排领域项目(12dz1201000)Supported by the Main Direction Program of Knowledge Innovation of Chinese Academy of Sciences(KGCX2-YW-384),2012Annual Energy-Saving and Emission Reduction Projects "Scientific and Technological Innovation Plan of Action" of Shanghai (12dz1201000) (12dz1201000)