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沉积温度对ZnO薄膜结构形貌及光学性能的影响

阮鑫栋 姜妍彦 刘敬肖 胡志强 刘贵山

大连工业大学学报2014,Vol.33Issue(3):210-213,4.
大连工业大学学报2014,Vol.33Issue(3):210-213,4.

沉积温度对ZnO薄膜结构形貌及光学性能的影响

Effect of deposition temperature on microstructure and optical properties of ZnO thin films

阮鑫栋 1姜妍彦 1刘敬肖 1胡志强 1刘贵山1

作者信息

  • 1. 大连工业大学纺织与材料工程学院,辽宁大连 116034
  • 折叠

摘要

关键词

ZnO薄膜/超声喷雾法/沉积温度

Key words

ZnO thin film/ ultrasonic spray pyrolysis/ deposition temperature

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

阮鑫栋,姜妍彦,刘敬肖,胡志强,刘贵山..沉积温度对ZnO薄膜结构形貌及光学性能的影响[J].大连工业大学学报,2014,33(3):210-213,4.

基金项目

辽宁省自然科学基金资助项目(20092143). (20092143)

大连工业大学学报

OA北大核心CSTPCD

1674-1404

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