硅酸盐通报2014，Vol.33Issue(5)：1256-1258,1263,4.
电子束蒸发制备HfO2薄膜的性能研究
Study on Performance of HfO2 Thin Film Prepared by the Electron Beam Evaporation Method
摘要
关键词
HfO2薄膜/X射线衍射/透射光谱/薄膜结构/光学性能Key words
HfO2 thin film/ X-ray diffraction/ transmission spectra/ film structure / optical property分类
数理科学引用本文复制引用
张红鹰,吴师岗,杜健..电子束蒸发制备HfO2薄膜的性能研究[J].硅酸盐通报,2014,33(5):1256-1258,1263,4.基金项目
国家自然科学基金资助(11104166) （11104166）
