人工晶体学报2014，Vol.43Issue(5)：1110-1114,5.
湿法刻蚀腔室结构数值优化
Numerical Optimization of a Chamber Structure Design for the Wet Etching
摘要
关键词
刻蚀腔室/流场仿真/均匀性/刻蚀速率Key words
etch chamber/ flow field simulation / uniformity / etch rate分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王伟,向东,杨为,夏焕雄,张瀚..湿法刻蚀腔室结构数值优化[J].人工晶体学报,2014,43(5):1110-1114,5.基金项目
国家科技重大专项(2011Z02403-004) （2011Z02403-004）
