人工晶体学报2014，Vol.43Issue(5)：1179-1185,7.
MOCVD生长AlN的化学反应-输运过程数值模拟研究
Numerical Simulation Study on Chemical Reaction-transport Process of AlN MOCVD Growth
摘要
关键词
MOCVD/化学反应/AlN/数值模拟Key words
MOCVD / chemical reaction / AlN / numerical simulation分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
卢钦,左然,刘鹏,童玉珍,张国义..MOCVD生长AlN的化学反应-输运过程数值模拟研究[J].人工晶体学报,2014,43(5):1179-1185,7.基金项目
国家自然科学基金(61176009) （61176009）
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CB013101) （973计划）
