液晶与显示2014，Vol.29Issue(4)：521-526,6.DOI:10.3788/YJYXS20142904.0521
新型TFT-LCD黑矩阵的细线化研究
Narrow black matrix for TFT-LCD
靳福江 1卢兵 1朱凤稚 1罗峰 1柳星 1代伟男 1刘华 1范峻1
作者信息
- 1. 成都京东方光电科技有限公司,四川成都611731
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摘要
关键词
黑矩阵/线宽/相位移掩膜板/背面曝光Key words
black matrix/critical dimension/phase shift mask/back exposure分类
能源科技引用本文复制引用
靳福江,卢兵,朱凤稚,罗峰,柳星,代伟男,刘华,范峻..新型TFT-LCD黑矩阵的细线化研究[J].液晶与显示,2014,29(4):521-526,6.
