成都大学学报（自然科学版）2014，Vol.33Issue(1)：61-63,3.
工艺参数对CrNx涂层膜基结合力的影响
Effect of Process Parameters on Film-substrate Adhesion of CrNx Coatings
宋慧瑾 1鄢强2
作者信息
- 1. 成都大学工业制造学院,四川成都610106
- 2. 西南石油大学机电工程学院,四川成都610500
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摘要
关键词
膜基结合力/CrNx涂层/工艺参数/磁控溅射分类
通用工业技术引用本文复制引用
宋慧瑾,鄢强..工艺参数对CrNx涂层膜基结合力的影响[J].成都大学学报（自然科学版）,2014,33(1):61-63,3.
