武汉工程大学学报2014，Vol.36Issue(6)：14-19,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-2869.2014.06.004
微波法金刚石膜的均匀沉积
Uniform deposition of diamond films by microwave
摘要
关键词
化学气相沉积/均匀性/金刚石膜Key words
chemical vapor deposition/uniformity/diamond film分类
数理科学引用本文复制引用
汪建华,胡晖,翁俊..微波法金刚石膜的均匀沉积[J].武汉工程大学学报,2014,36(6):14-19,6.基金项目
国家自然科学基金项目(11175137) （11175137）
