广西师范大学学报（自然科学版）2014，Vol.32Issue(2)：55-59,5.
TMAH硅湿法刻蚀剂中异丙醇与氧化剂的协同作用
Synergistic Effect of Isopropyl Alcohol and Oxidant in Silicon Wet Etching with TMAH Etchant
摘要
关键词
四甲基氢氧化铵/硅湿法刻蚀/过硫酸铵/异丙醇Key words
TMAH/silicon wet etching/ammonium persulfate/isopropyl alcohol分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈东,刘诗斌,梁晋涛..TMAH硅湿法刻蚀剂中异丙醇与氧化剂的协同作用[J].广西师范大学学报（自然科学版）,2014,32(2):55-59,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60874101) （60874101）
