武汉工程大学学报2014，Vol.36Issue(7)：24-29,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-2869.2014.07.005
辅助气体对分阶段制备金刚石膜的影响
Influence of auxiliary gas on stage growth of diamond films
摘要
关键词
化学气相沉积/金刚石膜/微波等离子体Key words
chemical vapor deposition/diamond film/microwave plasma分类
数理科学引用本文复制引用
汪建华,刘聪,熊礼威..辅助气体对分阶段制备金刚石膜的影响[J].武汉工程大学学报,2014,36(7):24-29,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.11175137) （No.11175137）
