发光学报2014，Vol.35Issue(8)：980-985,6.DOI:10.3788/fgxb20143508.0980
高温预生长对图形化蓝宝石衬底GaN薄膜质量的提高
Improvement of GaN Thin-film Quality Grown on Patterned Sapphire Substrate by High-temperature Pre-growth Treatment
摘要
关键词
LED/GaN/图形化蓝宝石衬底/高温预生长Key words
LED/GaN/patterned sapphire substrate/high-temperature pre-growth treatment分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄华茂,杨光,王洪,章熙春,陈科,邵英华..高温预生长对图形化蓝宝石衬底GaN薄膜质量的提高[J].发光学报,2014,35(8):980-985,6.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)(2014AA032609) （863计划）
广东省战略性新兴产业发展专项资金(2010A081002009,2012A080302003) （2010A081002009,2012A080302003）
中央高校基本科研业务费专项资金(2013ZM093,2013ZP0017)资助项目 （2013ZM093,2013ZP0017）
