厦门大学学报（自然科学版）2014，Vol.53Issue(4)：496-501,6.DOI:10.6043/j.issn.0438-0479.2014.04.011
三轴高g压阻式微加速度计的设计
Design of a Triaxial High-g Piezoresistive Microaccelerometer
摘要
关键词
三轴/高g/压阻/微加速度计/仿真Key words
triaxial/high-g/piezoresistive/microaccelerometer/simulation分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
林杰,林立伟,郭航..三轴高g压阻式微加速度计的设计[J].厦门大学学报（自然科学版）,2014,53(4):496-501,6.基金项目
航空基金(2008ZII68002) （2008ZII68002）
教育部新世纪优秀人才支持计划(2007NCET-07-0723) （2007NCET-07-0723）
