华东师范大学学报（自然科学版）Issue(4)：69-76,8.DOI:10.3969/j.issn.1000-5641.2014.04.009
用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究
Study on polyimide film humidity sensitive capacitor for high altitude meteorological observation
卞晓月 1张健 1王剑平 2吉淳 2吴一奇2
作者信息
- 1. 华东师范大学信息科学技术学院,上海200241
- 2. 上海长望气象科技有限公司,上海201209
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摘要
关键词
湿度传感器/湿敏电容/聚酰亚胺/MEMSKey words
humidity sensor/humidity sensitive capacitor/polyimide/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
卞晓月,张健,王剑平,吉淳,吴一奇..用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究[J].华东师范大学学报（自然科学版）,2014,(4):69-76,8.
