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低温AlN插入层的生长温度对AlGaN/GaN量子阱应力弛豫作用的影响

刘子超 章海霞 甄慧慧 李明山 尚林 许并社

人工晶体学报2014,Vol.43Issue(8):1926-1932,7.
人工晶体学报2014,Vol.43Issue(8):1926-1932,7.

低温AlN插入层的生长温度对AlGaN/GaN量子阱应力弛豫作用的影响

Influence of Growth Temperature of Low Temperature-AlN Interlayer on Strain Relaxation in AlGaN/GaN Quantum Well

刘子超 1章海霞 2甄慧慧 1李明山 2尚林 1许并社2

作者信息

  • 1. 太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室,太原030024
  • 2. 太原理工大学新材料工程技术研究中心,太原030024
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摘要

关键词

AlN插入层/生长温度/AlGaN/GaN量子阱/应变弛豫

Key words

AlN interlayer/ growth temperature / AlGaN/GaN quantum well / strain relaxation

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘子超,章海霞,甄慧慧,李明山,尚林,许并社..低温AlN插入层的生长温度对AlGaN/GaN量子阱应力弛豫作用的影响[J].人工晶体学报,2014,43(8):1926-1932,7.

基金项目

山西省科技创新重点团队(2012041011) (2012041011)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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