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硅微陀螺仪零偏稳定性的优化

赵阳 裘安萍 施芹 夏国明 赵健

光学精密工程2014,Vol.22Issue(9):2381-2388,8.
光学精密工程2014,Vol.22Issue(9):2381-2388,8.DOI:10.3788/OPE.20142209.2381

硅微陀螺仪零偏稳定性的优化

Optimization of bias stability for silicon microgyroscope

赵阳 1裘安萍 1施芹 1夏国明 1赵健1

作者信息

  • 1. 南京理工大学MEMS惯性技术研究中心,江苏南京210094
  • 折叠

摘要

关键词

硅微陀螺仪/零偏稳定性/机械耦合误差/前置接口放大器

Key words

silicon microgyroscope/bias stability/mechanical coupling error/interface preamplifier

分类

机械制造

引用本文复制引用

赵阳,裘安萍,施芹,夏国明,赵健..硅微陀螺仪零偏稳定性的优化[J].光学精密工程,2014,22(9):2381-2388,8.

基金项目

武器装备预研基金资助项目(No.9140A09011011BQ02) (No.9140A09011011BQ02)

国家863高技术研究发展计划资助项目 ()

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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