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双探针原子力显微镜视觉对准系统

张华坤高思田卢明臻李伟王龙龙

光学精密工程2014，Vol.22Issue(9)：2399-2406,8.

光学精密工程2014，Vol.22Issue(9)：2399-2406,8.DOI:10.3788/OPE.20142209.2399

Vision alignment system for AFM with dual probes

张华坤 ¹高思田 ¹卢明臻 ²李伟 ²王龙龙²

作者信息

原子力显微镜(AFM)/双探针/尺寸测量/对准/视觉引导

Atomic Force Microscope (AFM)/dual-probe/dimension measurement/alignment/vision guidance

机械制造

张华坤,高思田,卢明臻,李伟,王龙龙..双探针原子力显微镜视觉对准系统[J].光学精密工程,2014,22(9):2399-2406,8.

国家科学支撑计划资助项目(No.2011BAK15B02) （No.2011BAK15B02）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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