河南理工大学学报（自然科学版）2014，Vol.33Issue(5)：671-674,4.
氧气气氛下退火处理对ITO薄膜性能的影响
Influence of annealing treatment in O2 atmosphere on properties of ITO thin film
摘要
关键词
ITO/表面化学组分/退火处理Key words
ITO/chemical composition of surface/annealing treatment分类
数理科学引用本文复制引用
曹国华,蔡红新,张宝庆,李明,康朝阳..氧气气氛下退火处理对ITO薄膜性能的影响[J].河南理工大学学报（自然科学版）,2014,33(5):671-674,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51301062) （51301062）
亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室开放课题(201207) （201207）
河南省教育厅科学技术研究重点项目(13B430019) （13B430019）
河南理工大学博士基金资助项目(B2012-007). （B2012-007）
